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<title>スパッタ装置</title>

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<body background="crown.jpg" text="#541C00" scroll="yes">
<font size="+3"><p align="center">スパッタ装置 ( RF マグネトロンスパッタリング法 )</p></font>

<div align="center">
<font size="+1">
<table>
<tr><td><img src="sputter-l.jpg"></td></tr>
</table>
<div align="center">
<b> 
真空のチャンバー内に基板とターゲットを設置し<br>
アルゴンプラズマを利用し，薄膜を形成する装置です。<br>

<b></div>
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<br>
<FORM>
<INPUT TYPE="button" VALUE="お疲れ様でした♪" onClick="window.close()">
</FORM>

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