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研究内容
・仕組みとしては，スパッタガスであるアルゴンが高周波により高いエネルギーを得ます。アルゴンは，この高いエネルギーの状態で試料粉末（ターゲット）に衝突します。するとターゲット内で原子同士の衝突の連鎖が起こり，一部のターゲット原子が基板方向に弾き出されていきます。この弾き出された原子が基板に堆積することで，薄膜を得ることができるのです。
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